廖春渊
牛津仪器等离子技术公司
地点：唐仲英楼A313
时间：2018-03-15 13:30
微加工中心邀请牛津仪器的资深工程师介绍等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）的功能和使用方法。等离子体增强化学气相沉积系统工艺与应用
牛津仪器工程师